申请/专利权人：深圳硅基传感科技有限公司

申请日：2021-03-18

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN115106245B

主分类号：B05C3/10

分类号：B05C3/10;B05C11/10;B05C13/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.10.18#实质审查的生效;2022.09.27#公开

摘要：本公开描述了一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法，其包括固定机构、盛液机构、注液机构和控制装置，固定机构具有用于固定待涂膜工件的多个固定部，盛液机构具有并排布置且用于盛装涂膜液的形状相同的多个液槽，注液机构具有用于容纳涂膜液的储液部以及与储液部连通并用于供应涂膜液的输注部，控制装置控制注液机构与盛液机构相对移动以使输注部对准液槽并控制输注部向液槽中供应预定体积的涂膜液；并且控制装置控制盛液机构与固定机构相对移动以使固定于固定机构的待涂膜工件浸入液槽中的涂膜液并从液槽中的涂膜液离开，从而在待涂膜工件上形成涂覆膜。根据本公开，能够提供一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法。

主权项：1.一种提高一致性的批量化涂膜设备，其特征在于，包括固定机构、盛液机构、注液机构和控制装置；所述固定机构具有用于固定待涂膜工件的多个固定部；所述盛液机构具有并排布置且用于盛装涂膜液的形状相同的多个液槽，所述液槽包括具有容纳空间的槽体部和与所述槽体部连接的开口部，所述开口部的横截面积大于所述槽体部的横截面积，所述开口部上端的侧壁由竖直方向向外倾斜0°至90°，所述液槽由防静电材料构成，所述槽体部包括主体区和底区，所述主体区和所述底区平滑连接，所述主体区为圆柱状，所述底区为半球状，所述盛液机构与所述固定机构可相对移动；所述注液机构具有用于容纳涂膜液的储液部以及与所述储液部连通并用于供应涂膜液的输注部，所述注液机构与所述盛液机构可相对移动；所述控制装置被配置为至少控制所述固定机构与所述盛液机构之间的相对移动、以及所述盛液机构与所述注液机构之间的相对移动，并控制所述注液机构经由所述输注部供应涂膜液；对固定于所述固定机构的待涂膜工件进行涂膜时，所述控制装置控制所述注液机构与所述盛液机构相对移动以使所述输注部对准所述液槽并控制所述输注部依次向各个所述液槽中供应预定体积的涂膜液；并且所述控制装置控制所述盛液机构与所述固定机构相对移动以使固定于所述固定机构的待涂膜工件浸入所述液槽中的涂膜液并从所述液槽中的涂膜液离开，从而在待涂膜工件上形成预定厚度的涂覆膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳硅基传感科技有限公司 批量化涂膜设备及批量化涂膜方法

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