申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117542777B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.09#公开

摘要：本发明公开了高速高精度搬运装置，涉及半导体制备设备技术领域，高速高精度搬运装置包括基体，顶侧设有机械臂组件，机械臂组件端部转动设有搬运组件，搬运组件包括上下设置的第一支撑板和第二支撑板，搬运组件包括转动轴，第一支撑板和第二支撑板之间设有缓冲组件，第一支撑板和第二支撑板远离转动轴一侧设有吸附组件，两吸附组向背设置，吸附组件包括吸附基板，吸附基板上设有分隔条，分隔条将吸附基板分隔为吸附区和分离区，吸附区内布设有吸附装置，分离区内设有排气件，吸附基板朝向转动轴一侧设有气管接头。本发明的目的在于提供一种效率高且效果好、无划痕的高速高精度搬运装置。

主权项：1.高速高精度搬运装置，包括基体（1），所述基体（1）顶侧设有机械臂组件（2），所述机械臂组件（2）端部转动设有搬运组件（3），所述搬运组件（3）包括上下设置的第一支撑板（31）和第二支撑板（32），所述搬运组件（3）还包括转动轴，所述转动轴贯穿第一支撑板（31）和第二支撑板（32）一侧，所述第一支撑板（31）和第二支撑板（32）能够共同转动，其特征在于，所述第一支撑板（31）和第二支撑板（32）之间设有缓冲组件（4），所述第一支撑板（31）和第二支撑板（32）远离转动轴一侧分别设有吸附组件（5），两所述吸附组件（5）向背设置，所述吸附组件（5）包括吸附基板（51），所述吸附基板（51）上设有分隔条（52），所述分隔条（52）将吸附基板（51）分隔为吸附区（53）和分离区（54），所述吸附区（53）内布设有吸附装置（6），所述分离区（54）内设有排气件（55），所述吸附基板（51）朝向转动轴一侧设有气管接头（56）；所述吸附装置（6）包括吸附基体（61），所述吸附基体（61）与吸附基板（51）连接，所述吸附基体（61）顶侧开设盲孔，所述盲孔内收容有橡胶塞（62），所述橡胶塞（62）同轴连接有滑移柱（63），所述吸附基体（61）底侧开设有滑移孔（64），所述盲孔底侧设有密封环垫（65），所述滑移柱（63）顶设有吸盘（66），所述橡胶塞（62）与密封环垫（65）底侧之间设有第一弹簧（67）；所述吸盘（66）底侧开设通气孔（68），所述通气孔（68）另一端开口设在橡胶塞（62）下侧滑移柱（63）侧面，所述盲孔底侧设有气管（69）；所述排气件（55）包括排气管套（551），所述排气管套（551）一侧连接有连接气管（552），所述排气管套（551）另一侧同轴设有限流挡板（553），所述排气管套（551）设有限流挡板（553）一侧向外延伸设有延伸板（554）。

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