申请/专利权人：河北圣昊光电科技有限公司

申请日：2022-04-29

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114803452B

主分类号：B65G47/80

分类号：B65G47/80;B65G47/74;H01S5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开

摘要：本发明涉及晶圆加工领域，具体涉及一种同步传动组件及具有其的裂片机。一种同步传动组件，包括：架体，设有安装台，安装台设有通孔；受台，设于安装台上，受台设有与通孔长度方向平行的裂解间隙，且裂解间隙具有与待裂解Bar条待裂解区域对应设置的裂解线；第一传动机构，与受台对应设置，设有劈刀，劈刀的刀刃朝向裂解间隙设置；第二传动机构，与受台设于安装台两侧，设有图像采集器，第一传动机构驱动劈刀、第二传动机构驱动图像采集器同步运动，使图像采集器透过通孔始终保持镜头所在的第一平面与裂解线和劈刀的刀刃确定的第二平面垂直设置，且图像采集器镜头中心点与刀刃中心点的连线垂直第一平面。本发明解决了裂片机尺寸偏大的缺陷。

主权项：1.一种同步传动组件，其特征在于，包括：架体1，设有安装台2，所述安装台2设有贯通设置的通孔9；受台11，设于所述安装台2上，所述受台11适于放置待裂解Bar条，所述受台11设有与所述通孔9的长度方向平行的裂解间隙，且所述裂解间隙具有与待裂解Bar条的待裂解区域对应设置的裂解线；所述受台11包括相对设置的第一支撑台和第二支撑台，第一支撑台和第二支撑台可贴合为一体、可分离，第一支撑台和第二支撑台在贴合后的中心线即为裂解线；第一传动机构4，设于所述安装台2上，且与所述受台11对应设置，所述第一传动机构4设有劈刀6，所述劈刀6的刀刃朝向所述裂解间隙设置；所述第一传动机构4包括第三动力件和第二传动杆，第二传动杆的中心轴线方向与通孔9的长度方向平行；第二传动机构10，与所述受台11分设于所述安装台2的两侧，所述第二传动机构10设有图像采集器13，所述第三动力件驱动劈刀6、第一动力件16驱动图像采集器13的镜头14进行同向且同速的运动，以使所述图像采集器13透过通孔9始终保持镜头14所在的第一平面与裂解线和所述劈刀6的刀刃确定的第二平面垂直设置，且所述图像采集器13的镜头14中心点与所述刀刃的中心点的连线垂直于所述第一平面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河北圣昊光电科技有限公司 一种同步传动组件及具有其的裂片机

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