申请/专利权人:英属维京群岛商天材创新材料科技股份有限公司
申请日:2020-04-01
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN113454534B
主分类号:G03F7/004
分类号:G03F7/004;G03F7/32;G03F7/16;B32B37/00;G06F3/044;H01B1/22
优先权:["20190403 US 62/828,734"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权;2021.10.22#实质审查的生效;2021.09.28#公开
摘要:一种形成一透明导电膜和一相关联的膜的方法。该方法可为一转换方法。提供具有一粘着剂的一基板的一区域,该粘着剂包含悬浮在一光敏聚合材料的多个金属纳米结构。可使用一施体基板。使用光刻法图案化粘着剂。使用一显影液显影被图案化的粘着剂,该显影液:i根据粘着剂的一图案移除光敏聚合材料的一部分,且ii包含蚀刻该多个金属纳米结构的一纳米结构蚀刻剂。
主权项:1.一种形成一透明导电膜的转换方法,该转换方法包含:提供具有一粘着剂的一施体基板的一区域,该粘着剂包含悬浮在一光敏聚合材料的多个金属纳米结构;将该施体基板和该粘着剂施加于一受体基板上;从施加于该受体基板的该粘着剂上移除该施体基板;使用光刻法图案化该粘着剂;以及使用一显影液显影被图案化的该粘着剂,该显影液:i根据该粘着剂的一图案移除该光敏聚合材料的一部分,且ii包含提供该多个金属纳米结构的蚀刻的一纳米结构蚀刻剂;其中该显影液显影被图案化的该粘着剂和蚀刻该多个金属纳米结构是一单一步骤的一部分。
全文数据:
权利要求:
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