申请/专利权人：朗美通经营有限责任公司

申请日：2018-10-10

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114421282B

主分类号：H01S5/183

分类号：H01S5/183

优先权：["20171011 US 62/571,113","20180914 US 16/132,009"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.05.20#实质审查的生效;2022.04.29#公开

摘要：一种光学装置可以包括垂直腔表面发射激光器VCSEL的阵列，其具有设计波长，每一个VCSEL具有发射区域。光学装置可以包括基本上覆盖阵列的第一金属层、基本上覆盖第一金属层的第二金属层、和在第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层，该电绝缘层包括用于将第一金属层的一些部分与第二金属层的一些部分电连接的过孔。光学装置可以包括设置在每一个VCSEL的发射区域上方的电介质。至少约90％的电介质区域中电介质的厚度变化可以小于设计波长的约2％。发射区域周围的井部的深度可以等于发射区域宽度的至少约10％。

主权项：1.一种光学装置，包括：垂直腔表面发射激光器VCSEL的阵列，每一个垂直腔表面发射激光器VCSEL具有发射区域；第一金属层，基本上覆盖该阵列，第一金属层包括用于每一个发射区域的开口，且第一金属层将所述阵列的第一组发射器连接到第一阳极；第二金属层，基本上覆盖第一金属层，第二金属层将所述阵列的第二组发射器连接到第二阳极，其中所述第二组不包括第一组中的发射器；和在第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层，该电绝缘层包括用于将第一金属层的一些部分与第二金属层的一些部分电连接的过孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗美通经营有限责任公司 具有多个金属层的阵列垂直腔表面发射激光器

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