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【发明授权】射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法_深圳市瀚强科技股份有限公司_202311734436.9 

申请/专利权人:深圳市瀚强科技股份有限公司

申请日:2023-12-18

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN117424575B

主分类号:H03H7/38

分类号:H03H7/38;H04B1/40

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2024.02.06#实质审查的生效;2024.01.19#公开

摘要:本申请提供一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法,涉及射频技术领域,射频电路包括:射频电源、射频输出端、变压器、电抗补偿单元以及变比调节单元,射频电源用于向负载提供射频功率;射频输出端用于连接负载;变压器包括原边绕组和副边绕组,原边绕组连接于射频电源与射频输出端之间;电抗补偿单元与变压器的副边绕组串联连接,用于可选择性地提供补偿电抗;变比调节单元用于调节变压器的变比;其中,在射频电路需要进行电抗补偿时,电抗补偿单元提供补偿电抗,且变比调节单元调节变压器的变比,以对射频电路在原边绕组一侧的电抗进行补偿。本申请可便捷地对射频电路进行电抗补偿。

主权项:1.一种射频电路,其特征在于,包括:射频电源,用于向负载提供射频功率;射频输出端,用于连接负载;变压器,包括原边绕组和副边绕组,所述原边绕组连接于所述射频电源与所述射频输出端之间;电抗补偿单元,与所述变压器的所述副边绕组串联连接,用于可选择性地提供补偿电抗;以及变比调节单元,用于调节所述变压器的变比;其中,在所述射频电路需要进行电抗补偿时,所述电抗补偿单元提供所述补偿电抗,且所述变比调节单元调节所述变压器的变比,以对所述射频电路在所述原边绕组一侧的电抗进行补偿;所述电抗补偿单元包括第一补偿支路、第二补偿支路以及开关单元,所述第一补偿支路呈感性,所述第二补偿支路呈容性,其中,所述开关单元用于在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为容性时,将所述第一补偿支路与所述副边绕组串联连接,以提供补偿感抗,并在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为感性时,将所述第二补偿支路与所述副边绕组串联连接,以提供补偿容抗。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市瀚强科技股份有限公司 射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法

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