申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-06-19

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN111801777B

主分类号：H01L21/3065

分类号：H01L21/3065;H05H1/46

优先权：["20180703 JP 2018-126555"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.04.23#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：基板处理系统具备：载置台，其用于载置基板；加热器，其通过被供给电力来将基板进行加热；电力供给部，其向加热器供给电力；传感器，其测定加热器的电阻值；以及控制装置。控制装置记录将多个电阻值与多个温度进行对应的转换表，在加热器的温度为参考温度时获取由传感器测定的参考电阻值。控制装置还在通过加热器将基板进行加热的期间获取由传感器测定的温度调整用电阻值，并基于转换表、参考温度、参考电阻值以及温度调整用电阻值来控制电力供给部。

主权项：1.一种基板处理系统，具备：载置台，其用于载置基板；多个加热器，其通过被供给电力来将所述基板进行加热；多个电力供给部，其分别向所述多个加热器供给电力；多个传感器，其与所述多个加热器相对应；以及控制装置，其中，所述控制装置被配置为：记录与所述多个加热器对应的多个转换表，其中，所述多个转换表中的多个电阻值与多个温度相关联；获取与所述多个加热器对应的多个参考电阻值，其中，在所述多个加热器中的一个加热器的温度为参考温度时由多个传感器测定多个参考电阻值；获取与所述多个加热器对应的多个温度调整用电阻值，其中，在通过所述多个加热器将所述基板进行加热的期间由所述多个传感器测定所述多个温度调整用电阻值；以及基于所述多个转换表、所述参考温度、所述多个参考电阻值以及所述多个温度调整用电阻值来控制所述多个电力供给部，其中，多个传感器在多个测定期间中的任一测定期间分别测定多个参考电阻值，在所述多个测定期间中的第一测定期间测定所述多个参考电阻值中的与第一加热器对应的第一参考电阻值，在所述多个测定期间中的所述第一测定期间的接下来的第二测定期间测定所述多个参考电阻值中的与第二加热器对应的第二参考电阻值，多个区域中的与所述第二加热器对应的第二区域以不与所述多个区域中的与所述第一加热器对应的第一区域相邻的方式配置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理系统和基板处理方法

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