申请/专利权人：郑州轨道交通信息技术研究院

申请日：2023-06-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753370U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种覆膜裁切机构，包括裁切组件，还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构，所述固定机构设置在所述裁切组件下方，所述固定机构包括吸附组件、气泵，所述气泵安装在所述吸附组件两侧，所述吸附组件包括底座、固定筒、吸盘，所述固定筒安装在所述底座上方，所述吸盘安装在所述固定筒上方。本实用新型通过设置固定机构，使用装置时，将待加工的晶圆放置在吸盘上，启动气泵，底座和固定筒内的气体经气泵排出，吸盘内部形成负压，晶圆在负压的作用下牢牢固定在吸盘上，如此对晶圆进行吸附固定，有效提高了晶圆在加工过程中的稳定性。

主权项：1.一种覆膜裁切机构，包括裁切组件，其特征在于：还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构8，所述固定机构8设置在所述裁切组件下方；所述固定机构8包括吸附组件、气泵804，所述气泵804安装在所述吸附组件两侧，所述吸附组件包括底座801、固定筒802、吸盘803，所述固定筒802安装在所述底座801上方，所述吸盘803安装在所述固定筒802上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 郑州轨道交通信息技术研究院 一种覆膜裁切机构

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