申请/专利权人：瑶光半导体(浙江)有限公司

申请日：2023-07-26

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753372U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种导光机构，包括：第一导光机构，所述第一导光机构包括第一导轨以及设置在所述第一导轨上的第一导光组件和第二导光组件，所述第一导轨底部向上凹陷形成沟槽。通过沟槽的设计有效减轻了导光机构的重量，本实用新型还提供了一种应用该导光机构的激光退火装置。

主权项：1.一种导光机构，其特征在于，包括：第一导光机构，所述第一导光机构包括第一导轨以及设置在所述第一导轨上的第一导光组件和第二导光组件，所述第一导轨底部向上凹陷形成沟槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑶光半导体(浙江)有限公司 导光机构及应用该导光机构的激光退火装置

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