申请/专利权人：东佑达奈米系统股份有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220741084U

主分类号：B25H1/14

分类号：B25H1/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元。所述平台单元包括顶面及两个安装面。所述基座单元包括主座体及两个侧滑座，每一个侧滑座具有侧浮面及第一导气道组。所述滑台单元具有顶座及两个侧座，每一个侧座具有底侧面、内侧面、第二导气道组及第三导气道组，对所述第一导气道组、所述第二导气道组及所述第三导气道组供气，能使所述平台单元与所述基座单元之间，以及所述滑台单元与所述平台单元、所述基座单元之间产生气膜。整体配合能达到精密移动及加工目的。

主权项：1.一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，其特征在于：所述平台单元，包括顶面，以及两个与所述顶面相交连接的安装面；所述基座单元，包括沿横轴向延伸且能滑动的设置于所述顶面的主座体，以及两个连接于所述主座体且能滑动的设置于所述安装面的侧滑座，所述主座体具有与所述顶面相对的底端面、相反于所述底端面的顶端面、两个相交连接于所述底端面与所述顶端面的侧端面，以及两个分别对应于所述安装面的端部，每一个侧滑座具有与所述安装面相对的侧浮面，以及连通所述侧浮面的第一导气道组，当对所述第一导气道组供气，能使所述侧浮面与所述安装面之间产生气膜；所述滑台单元，能滑动的套设于所述基座单元，并具有设置于所述主座体上方的顶座，以及两个连接于所述顶座的侧座，每一个侧座具有相对于所述顶面的底侧面、相交连接于所述底侧面的内侧面、连通所述底侧面的第二导气道组，以及连通所述内侧面的第三导气道组，当对所述第二导气道组供气，能使所述底侧面与所述顶面之间产生气膜，当对所述第三导气道组供气，能使所述内侧面与所述侧端面之间产生气膜；所述第一驱动单元，设置于所述平台单元与所述基座单元，且能驱动所述基座单元与所述滑台单元相对于所述平台单元沿垂直于所述横轴向的长轴向产生线性移动；所述第二驱动单元，设置于所述基座单元与所述滑台单元，且能驱动所述滑台单元相对于所述基座单元沿所述横轴向产生线性移动。

全文数据：

权利要求：

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