申请/专利权人：无锡迈泰科技有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220750545U

主分类号：F25D31/00

分类号：F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，应用在温控设备技术领域，其技术方案要点是：所述储水箱内固定设有隔板用于将所述储水箱分为高温区以及低温区，所述储水箱在所述高温区以及所述低温区分别固定设有第一联通阀以及第二联通阀，所述第一联通阀上设有连接冷水机组的高温进口，所述第二联通阀上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口，所述第一联通阀与所述第二联通阀之间设有联通管路，所述联通管路上设有控制阀；具有的技术效果是：结构简单，能够在功率保持不变的同时实现温度的快速切换，温度响应效率高。

主权项：1.一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，包括储水箱1；其特征在于，所述储水箱1内固定设有隔板11用于将所述储水箱1分为高温区12以及低温区13，所述储水箱1在所述高温区12以及所述低温区13分别固定设有第一联通阀14以及第二联通阀15，所述第一联通阀14上设有连接冷水机组，用于收集冷水机组富余的流体的高温进口16，所述第二联通阀15上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口17，所述第一联通阀14与所述第二联通阀15之间设有用于将所述高温区12内的流体导入所述低温区13从而保证流体供应充足的联通管路18，所述联通管路18上设有控制阀19。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡迈泰科技有限公司 一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置

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