申请/专利权人：苏州细奉自动化有限公司

申请日：2023-09-02

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746066U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请涉及一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，包括：真空加热平台，所述真空加热平台上方设置有微孔石墨板，所述微孔石墨板用于真空吸附薄膜；所述微孔石墨板上方还设置有盖板，所述盖板用于夹持薄膜，所述盖板上设置有连通薄膜的避位槽；所述真空加热平台四个拐角均固定设置有腰孔型定位块，所述盖板上设置有对应的腰孔来定位安装在腰孔型定位块上；所述腰孔型定位块上设置有可转动的弹性锁扣，所述弹性锁扣用于锁紧盖板。本实用新型的真空吸附平台可以快速移动，拓宽了薄膜上制备镀层测试的可操作性；设置的腰孔型定位块和弹性锁扣，能更好的固定膜和盖板，旋转式锁紧装置的设计，操作方便快捷。

主权项：1.一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，包括：真空加热平台10，所述真空加热平台10上方设置有微孔石墨板12，所述微孔石墨板12用于真空吸附薄膜；所述微孔石墨板12上方还设置有盖板13，所述盖板13用于夹持薄膜，所述盖板13上设置有连通薄膜的避位槽；所述真空加热平台10四个拐角均固定设置有腰孔型定位块14，所述盖板13上设置有对应的腰孔16来定位安装在腰孔型定位块14上；所述腰孔型定位块14上设置有可转动的弹性锁扣15，所述弹性锁扣15用于锁紧盖板13。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州细奉自动化有限公司 一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD