申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2022-03-13

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN114888658B

主分类号：B24B9/00

分类号：B24B9/00;B24B27/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B55/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开

摘要：本发明公开了一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度，其技术方案：涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；2个所述夹块均连接有一弹性装置；包括如下步骤：将靶材插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材；开启电磁吸盘，电磁吸盘吸紧2个夹块；开启磨床，磨床的砂轮打磨靶材的顶侧；打磨完靶材后，关闭磨床、电磁吸盘，取下靶材，属于靶材加工技术领域。

主权项：1.一种ITO靶材的圆角加工方法，其特征在于，涉及磨床、电磁吸盘（1）、夹紧组件以及能够被电磁吸盘（1）吸紧的限位块（5），所述电磁吸盘（1）设置在磨床上，电磁吸盘（1）还设有用于导向夹块（2）移动的第一槽体（11）和垂直于第一槽体（11）布置的第二槽体（12）；限位块（5）放置在第二槽体（12）内且用于抵紧靶材（A）的侧边；所述夹紧组件包括2个夹块（2），2个所述夹块（2）相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块（2）能够被电磁吸盘（1）吸紧；2个所述夹块（2）均连接有一弹性装置（3），当夹紧空间被撑开，弹性装置（3）使夹块（2）有复位的趋势；包括如下步骤：将靶材（A）插入夹紧空间，使靶材（A）的底部与第二槽体（12）配合、限位块（5）抵紧靶材（A）的侧边，同时夹紧空间被撑开，弹性装置（3）驱动夹块（2）复位夹紧靶材（A）；开启电磁吸盘（1），电磁吸盘（1）吸紧2个夹块（2）；开启磨床，磨床的砂轮（4）打磨靶材（A）的顶侧；其中，所述砂轮（4）包括第一磨削台（41）、设置在第一磨削台（41）上的第二磨削台（42），所述第一磨削台（41）、第二磨削台（42）均为柱形且同轴心布置，所述第一磨削台（41）的直径大于第二磨削台（42）的直径；所述第一磨削台（41）、第二磨削台（42）通过圆角结构（43）以圆滑过渡的方式连接；砂轮（4）的圆角结构（43）打磨靶材（A）的顶侧的边缘；打磨完靶材（A）后，关闭磨床、电磁吸盘（1），取下靶材（A）；其中，砂轮（4）打磨靶材（A）前进行对刀操作；对刀时，靶材（A）的侧面上放置一第一定位板（a），第一磨削台（41）的内侧以第一定位板（a）的远离靶材（A）的一侧为基准侧；靶材（A）的顶面放置一第二定位板（b），第二磨削台（42）的底部以第二定位板（b）的远离靶材（A）的一侧基准侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO靶材的圆角加工方法

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