申请/专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司

申请日：2023-08-09

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220719735U

主分类号：B28B11/08

分类号：B28B11/08;C23C14/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型涉及一种ITO旋转靶材素坯加工芯棒装置，主要由芯棒支撑轴、聚氨酯气囊、气囊定位环、压力控制阀组成，能够对ITO旋转靶材素坯起到柔性支撑的作用，通过该装置的使用，可以提升ITO旋转靶素胚加工的稳定性，减小素胚与芯棒之间的应力，能够减少素胚加工过程产生内裂纹风险，降低生产成本。

主权项：1.一种ITO旋转靶材素坯加工芯棒装置，其特征在于，包括芯棒支撑轴、气囊、气囊定位环、及压力控制阀，所述芯棒支撑轴的外部套设所述气囊，用于支撑素坯内孔，气囊两端通过穿设在芯棒支撑轴上的气囊定位环实现定位，所述气囊与压力控制阀连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 洛阳晶联光电材料有限责任公司 一种ITO旋转靶材素坯加工芯棒装置

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