申请/专利权人：长春长光智欧科技有限公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117647880B

主分类号：G02B21/02

分类号：G02B21/02;G02B13/00;G02B27/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：浸液式高数值孔径宽谱段显微物镜光学系统，涉及光学成像技术领域，特别涉及高数值孔径大视场的显微物镜光学系统技术领域。解决现有市场上对高端显微物镜光学系统日益增长的需求。光学系统从左到右沿像平面到物平面沿光轴方向依次同轴放置有第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五内反透镜组；第一透镜组用于减少光束的口径，降低入射角角度；第二透镜组用于采用负‑负‑正的光焦度组合，提供负的彗差；第三透镜组用于减少光束口径，消除一部分球差和场曲；第四透镜组用于分担整个系统的光焦度，减少其余透镜组光焦度的压力；第五内反透镜组用于消除轴向色差。本发明适用于半导体检测领域，尤其是晶圆检测方向。

主权项：1.浸液式高数值孔径宽谱段显微物镜光学系统，其特征在于，所述光学系统从左到右沿像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次同轴放置有第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五内反透镜组；所述第一透镜组用于减少光束的口径，降低入射角角度；所述第二透镜组用于采用负-负-正的光焦度组合，提供负的彗差；所述第三透镜组用于减少光束口径，消除一部分球差和场曲；所述第四透镜组用于分担整个系统的光焦度，减少其余透镜组光焦度的压力；所述第五内反透镜组用于消除轴向色差；所述第一透镜组包括三片透镜，从像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次为光焦度为正的弯月第一透镜（1）、光焦度为正的弯月第二透镜（2）和光焦度为正的弯月第三透镜（3）；所述第二透镜组包括三片透镜，从像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次为光焦度为负的弯月第四透镜（4）、光焦度为负的弯月第五透镜（5）和光焦度为正的双凸第六透镜（6）；所述第三透镜组包括三片透镜，从像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次为光焦度为负的弯月第七透镜（7）、光焦度为正的双凸第八透镜（8）和光焦度为正的双凸第九透镜（9）；所述第四透镜组包括三片透镜，从像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次为光焦度为负的弯月第十透镜（10）、光焦度为正的双凸第十一透镜（11）和光焦度为负的弯月第十二透镜（12）；所述第五内反透镜组包括三片透镜，从像平面（0）到物平面（16）沿光轴方向依次为光焦度为负的弯月第十三内反透镜（13）、光焦度为正的弯月第十四内反透镜（14）和光焦度为正的平凸第十五透镜（15）；所述光焦度为负的弯月第十三内反透镜（13）用于与所述光焦度为正的弯月第十四内反透镜（14）组成消色差组，所述消色差组用于消除宽谱段所引入光学系统的轴向色差；所述第十五透镜（15）用于保护光学系统不受浸液的腐蚀。

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