申请/专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220729293U

主分类号：G01D11/00

分类号：G01D11/00;G01D21/02;B23K10/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型提供一种等离子炬测试装置，包括机台、厂务源接口和电控组件，机台内部设有测试腔，机台的顶部设有用于待测等离子炬安装的安装口，厂务源接口适于将机台和待测等离子炬与厂务源连接，电控组件适于与待测等离子炬电连接，为待测等离子炬点火。通过封闭的测试腔，模拟半导体用等离子废气处理设备反应腔，并通过厂务源和机台连接，模拟半导体用等离子废气处理设备反应腔内部环境状态，借由独立的电控组件驱动待测等离子炬点火，实现了测试时无需借助半导体专用等离子废气处理设备，测试与生产可相对独立进行，互不干扰的效果，且通过厂务源接口实现测试时连接厂务源过程简化，提高批量测试待测等离子炬时的效率。

主权项：1.一种等离子炬测试装置，其特征在于：包括机台、厂务源接口和电控组件，所述机台内部设有测试腔，所述机台的顶部设有用于待测等离子炬安装的安装口，所述厂务源接口适于将所述机台和所述待测等离子炬与厂务源连接，所述电控组件适于与所述待测等离子炬电连接，为所述待测等离子炬点火。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽京仪自动化装备技术有限公司 等离子炬测试装置

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