申请/专利权人：中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878188A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/311;B23K26/36;B23K26/70

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种砷化镓太阳电池减反射膜的去除方法，包括上料：将晶圆从承载工装中取出放在工作台上；晶圆定位：根据晶圆上标记进行晶圆的精确定位；激光去膜：在设定位置进行激光工艺，去除减反射膜；光学检测：采用光学自动检测，检验去膜效果；下料：将晶圆从工作台上取出。本发明采用激光作为能量源，通过激光聚焦，扫描特定区域，使样品局部温度升高，物质升华实现特定位置的物质去除。该过程仅需要一步干法工艺就可以实现上述功能，生产效率高。

主权项：1.一种砷化镓太阳电池减反射膜的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：1上料：将晶圆从承载工装中取出放在工作台上；2晶圆定位：根据晶圆上标记进行晶圆的精确定位；3激光去膜：在设定位置进行激光工艺，去除减反射膜；4光学检测：采用光学自动检测，检验去膜效果；5下料：将晶圆从工作台上取出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司 一种砷化镓太阳电池减反射膜的去除方法

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