申请/专利权人：深圳大学

申请日：2024-03-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870427A

主分类号：F28D15/04

分类号：F28D15/04;H05K7/20;B23P15/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于均热板技术领域，涉及一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法。所述一种表面覆陶瓷涂层的均热板，包括上盖板、下盖板和吸液芯；上盖板和下盖板的内侧均设有支撑柱，吸液芯位于上盖板和下盖板形成的空腔内；上盖板和下盖板的外表面设有微柱体，微柱体的空隙中填充有陶瓷浆料，所述微柱体上设有金属复合层和陶瓷层，所述金属复合层为填充有陶瓷浆料的多层金属丝网结构。本发明通过在基板表面加工微柱体，将金属丝网固定在微柱体表面，增大了陶瓷浆料与均热板壳体的接触面积，增强了涂层的结合强度并提高了涂层的热导率，进而提升了均热板的传热性能，为第三代半导体射频芯片的热管理提供了可行方案。

主权项：1.一种表面覆陶瓷涂层的均热板，其特征在于，包括上盖板、下盖板和吸液芯；上盖板和下盖板的内侧均设有支撑柱，吸液芯位于上盖板和下盖板形成的空腔中；上盖板和下盖板的外表面设有微柱体，微柱体的空隙中填充有陶瓷浆料，所述微柱体上设有金属复合层和陶瓷层，所述金属复合层为填充有陶瓷浆料的多层金属丝网结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳大学 一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法

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