申请/专利权人：浙江衢化氟化学有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117861251A

主分类号：B01D3/00

分类号：B01D3/00;C01B33/107

优先权：["20231013 CN 2023113362283"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置，包括反应精馏塔、辅助反应系统、多级冷凝系统、增压泵、精馏系统，反应精馏塔的侧线采出连接辅助反应系统，多级冷凝系统的进料口与反应精馏塔的塔顶连接，多级冷凝系统的液相出料口与反应精馏塔连接；多级冷凝系统的出料口与增压泵的进料口连接，增压泵的出料口连接精馏系统，本发明还公开了使用该装置生产高纯硅烷的方法。本发明具有能耗低，反应效率高，安全环保，产品纯度高的优点。

主权项：1.一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置，包括反应精馏塔、辅助反应系统、多级冷凝系统、增压泵、精馏系统，其特征在于，所述反应精馏塔的侧线采出连接所述辅助反应系统，所述多级冷凝系统的进料口与所述反应精馏塔的塔顶连接，所述多级冷凝系统的液相出料口与所述反应精馏塔连接；所述多级冷凝系统的出料口与所述增压泵的进料口连接，所述增压泵的出料口连接所述精馏系统。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江衢化氟化学有限公司 一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置及其方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD