申请/专利权人：吉林大学

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871571A

主分类号：G01N23/2204

分类号：G01N23/2204;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种用于扫描电镜的样品真空转移装置及其使用方法，属于扫描电镜分析检测技术领域，包括密封体结构及磁体开关；密封体结构包括密封体盖子及样品台，密封体盖子及样品台之间形成密封腔体；密封体盖子的侧面集成有球阀结构，真空泵通过球阀结构对腔体内抽气，气流向外流出，使密封腔体内气压变小，当真空泵停止抽气时，密封腔体的内部压强比外部压强低，可使密封体结构的腔体保持密封状态，实现样品真空转移。该装置可确保样品从制备完成到扫描电镜测试过程中处于真空环境或惰性气体环境，且在扫描电镜样品仓前级的样品交换仓内就完成密封装置盖子移除，以致完全不影响原厂样品台在样品仓测试，这样可以提高测试效率和安全性。

主权项：1.一种用于扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于，包括用于存放待测样品的密封体结构及用于开启或关闭密封体结构的磁体开关7；所述密封体结构包括密封体盖子1及样品台4，所述密封体盖子1及样品台4之间形成密封腔体12，所述密封腔体12用于存放待测样品；所述密封体盖子1的侧面集成有用于对密封体结构进行抽真空的球阀结构2，所述密封体盖子1的腔体与球阀结构2的腔体连通，真空泵通过球阀结构2对腔体内抽气，气流向外流出，使密封体结构的密封腔体12内气压变小，当真空泵停止抽气时，密封腔体12的内部压强比外部压强低，可使密封体结构的腔体保持密封状态，实现样品真空转移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种用于扫描电镜的样品真空转移装置及其使用方法

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