申请/专利权人：无锡沃尼克半导体科技有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871787A

主分类号：G01N33/00

分类号：G01N33/00;B65G47/74;B08B5/02;G01B21/00;G01B21/30

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及检测装置技术领域，公开了一种半导体石英厚板凹槽检测装置，包括检测台和厚板本体，所述检测台顶部设有传送机构，所述厚板本体通过传送机构进行传送转移位置，所述传送机构一侧设有固定机构，所述传送机构顶部和底部分别设有第一吹气箱和第二吹气箱，本发明通过设置第一吹气箱和第二吹气箱分别位于传送机构上方和下方，可对厚板本体上下表面吹气进行清洁，避免厚板本体表面附着浮灰，影响检测的精准性，设置多个检测装置安装于第一吹气箱和第二吹气箱内，可在对所经过的厚板本体表面进行清洁的同时，检测装置同时对厚板本体上下表面进行全面检测，避免翻转厚板本体，提高了设备的检测效率。

主权项：1.一种半导体石英厚板凹槽检测装置，包括检测台1和厚板本体10，其特征在于，所述检测台1顶部设有传送机构4，所述厚板本体10通过传送机构4进行传送转移位置，所述传送机构4一侧设有固定机构3，所述传送机构4顶部和底部分别设有第一吹气箱8和第二吹气箱14，所述第一吹气箱8和第二吹气箱14内分别固定安装有多个检测器9，每个所述检测器9检测端均朝向厚板本体10，所述检测台1顶部两侧分别滑动安装有L型支架17，两个所述L型支架17顶部均固定安装有第一电动伸缩杆18，所述第一吹气箱8两相对侧分别与两个第一电动伸缩杆18的伸缩端固定安装，所述传送机构4内部一侧滑动安装有支撑架20，所述第二吹气箱14固定安装于支撑架20顶部，所述支撑架20底部和相邻的L型支架17之间设有连接杆，所述支撑架20通过连接杆与L型支架17固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡沃尼克半导体科技有限公司 一种半导体石英厚板凹槽检测装置

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