申请/专利权人:惠磊光电科技(上海)有限公司
申请日:2023-09-20
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220788872U
主分类号:C30B15/10
分类号:C30B15/10;C30B29/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:本实用新型涉及晶体生长装置技术领域,且公开了一种石英坩埚,包括石英坩埚主体,石英坩埚主体包括粗管、顶部与细管,细管设置于粗管下端,顶部设置于粗管上端,细管下端设置有底部,粗管外表面一侧设置有凸柱,粗管一侧通过凸柱设置有卡紧组件。该石英坩埚,利用粗管与细管连接处过渡台阶将晶锭支撑在粗管的大腔体内,在这种晶锭位置下,可以将晶锭再次进行二次生长,晶锭熔化的时候,由于晶锭和大尺寸腔体内部空隙很大,晶锭边界与坩埚接触宽松,相对自由,不会因为热膨胀或者导致石英坩埚主体碎裂。
主权项:1.一种石英坩埚,包括:石英坩埚主体1,所述石英坩埚主体1内部设置有晶锭4;其特征在于,所述石英坩埚主体1包括粗管101、顶部102与细管103,所述细管103设置于粗管101下端,所述顶部102设置于粗管101上端,所述细管103下端设置有底部,所述粗管101外表面一侧设置有凸柱2,所述粗管101一侧通过凸柱2设置有卡紧组件3;所述卡紧组件3包括弧形托板303,所述弧形托板303设置于凸柱2下端。
全文数据:
权利要求:
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