申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请日：2023-11-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878033A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;G03F7/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及半导体制造领域，提供了一种涂胶显影设备以及控制方法，所述涂胶显影设备包括：片盒模块，所述片盒模块用于储存或转运放置有晶圆的片盒；以及工艺模块，所述工艺模块用于对所述晶圆做工艺处理：其中，所述片盒模块包括：片盒装载单元，所述片盒装载单元用于放置所述片盒；以及层间机械手，所述层间机械手用于在所述片盒装载单元和所述工艺模块之间移动所述晶圆，本发明取消了层间工艺模块，将原来层间工艺模块的机械手整合到了片盒模块，直接通过层间机械手将晶圆转移到工艺模块，再对晶圆进行后续的工艺流程，减少晶圆从片盒到工艺模块的传片步骤，提高了片盒模块的整体产能。

主权项：1.一种涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备包括：片盒模块，所述片盒模块用于储存或转运放置有晶圆的片盒；以及工艺模块，所述工艺模块用于对所述晶圆做工艺处理：其中，所述片盒模块包括：片盒装载单元，所述片盒装载单元用于放置所述片盒；以及层间机械手，所述层间机械手用于在所述片盒装载单元和所述工艺模块之间移动所述晶圆。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种涂胶显影设备以及控制方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD