申请/专利权人：迈科半导体技术(广州)有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877988A

主分类号：H01L21/48

分类号：H01L21/48;H01L23/498

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于玻璃通孔垂直互联技术领域，公开了一种玻璃中介层、玻璃中介层的制备方法及制备设备。该制备方法包括：提供一玻璃衬底；在玻璃衬底的第一表面刻蚀出阵列分布的盲孔；通过喷墨打印金属液对所述盲孔进行填充，形成金属填充层；在所述第一表面上依次形成第一重布线层、绝缘层以及凸点；对所述玻璃衬底的第二表面进行研磨和抛光，以使所述金属填充层贯穿所述玻璃衬底；在所述第二表面上形成第二重布线层，以得到所述玻璃中介层。通过上述方式，在制备玻璃中介层的过程中，利用喷墨打印填充盲孔，再减薄玻璃衬底厚度，形成能够贯穿玻璃衬底的通孔，代替TGV中传统的电镀填充通孔的方式，减少整体制备时间，同时减小制备过程的损耗。

主权项：1.一种玻璃中介层的制备方法，其特征在于，所述玻璃中介层的制备方法，包括：提供一玻璃衬底；在所述玻璃衬底的第一表面刻蚀出阵列分布的盲孔；通过喷墨打印金属液对所述盲孔进行填充，形成金属填充层；在所述第一表面上依次形成第一重布线层、绝缘层以及凸点；对所述玻璃衬底的第二表面进行研磨和抛光，以使所述金属填充层贯穿所述玻璃衬底；在所述第二表面上形成第二重布线层，以得到所述玻璃中介层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 迈科半导体技术(广州)有限公司 玻璃中介层、玻璃中介层的制备方法及制备设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD