申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2022-07-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882296A

主分类号：H03H9/54

分类号：H03H9/54;H03H9/205

优先权：["20210803 US 63/228,990","20211203 US 17/542,295"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：公开了制造滤波器设备的方法。将具有第一厚度的压电板的背表面附接到基板。选择性地蚀刻压电板的前表面，以将压电板的一部分从第一厚度减薄至小于第一厚度的第二厚度。在基板中形成空腔，使得压电板的多个部分形成跨越相应空腔的多个膜片。在前表面上形成导体图案。该导体图案包括：第一叉指换能器IDT，在具有第一厚度的第一膜片上具有交织的指状物；以及第二IDT，在具有第二厚度的第二膜片上具有交织的指状物。

主权项：1.一种制造滤波器设备的方法，包括：将具有第一厚度的压电板的背表面附接到基板；选择性地蚀刻所述压电板的前表面，以将所述压电板的一部分从所述第一厚度减薄至小于所述第一厚度的第二厚度；在所述基板中形成空腔，使得所述压电板的多个部分形成跨越相应空腔的多个膜片；以及在所述前表面上形成导体图案，所述导体图案包括：第一叉指换能器IDT，在具有所述第一厚度的第一膜片上具有交织的指状物，以及第二IDT，在具有所述第二厚度的第二膜片上具有交织的指状物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 具有多种膜片厚度的横向激发薄膜体声学谐振器和制造方法

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