申请/专利权人：中北大学

申请日：2024-01-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870850A

主分类号：G01H9/00

分类号：G01H9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及基于刻槽式悬浮波导环形谐振腔的灵敏度增强型宽频带声传感器，包括下包层，设在下包层上且与下包层为一体结构的上包层，在所述上包层和下包层之间设有单直波导芯层和环形波导芯层，且所述单直波导芯层和环形波导芯层位于同一平面上，所述单直波导芯层与环形波导芯层之间具有耦合间距，所述下包层相对环形波导芯层的另一端面上设有悬浮波导空气槽，所述悬浮波导空气槽位于环形波导芯层的正下方；在环形谐振腔中利用声致悬浮波导产生的机械振动效应可以增强微腔对声波的响应，从而进一步增强声传感灵敏度。

主权项：1.基于刻槽式悬浮波导环形谐振腔的灵敏度增强型宽频带声传感器，其特征在于，包括下包层2，设在下包层2上且与下包层2为一体结构的上包层1，在所述上包层1和下包层2之间设有单直波导芯层3和环形波导芯层4，且所述单直波导芯层3和环形波导芯层4位于同一平面上，所述单直波导芯层3与环形波导芯层4之间具有耦合间距，所述下包层2相对环形波导芯层4的另一端面上设有悬浮波导空气槽5，所述悬浮波导空气槽5位于环形波导芯层4的正下方；光从单直波导芯层3的一端输入，当经过单直波导芯层3与环形波导芯层4的耦合区域时，一部分光耦合进入到环形波导芯层4形成的环形谐振腔，在环形谐振腔绕环传输。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中北大学 基于刻槽式悬浮波导环形谐振腔的灵敏度增强型宽频带声传感器

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