申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867651A

主分类号：C30B25/10

分类号：C30B25/10;C30B29/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开一种具有电磁屏蔽功能的电磁感应加热装置，包括：石英管、屏蔽板、感应线圈、石墨组件和冷却组件；石墨组件设置在石英管内侧，感应线圈缠绕在石英管外侧，且感应线圈的两端均设有屏蔽板，冷却组件分别与屏蔽板和感应线圈连接，冷却组件用于实现屏蔽板和感应线圈冷却；当感应线圈与高频感应加热电源连通时，感应线圈中产生感应电流，以实现石墨组件加热，且石墨组件未吸收的感应电流被屏蔽板屏蔽，实现电磁感应加热装置与SiC外延设备进行电磁屏蔽。本发明具有结构紧凑、屏蔽效果好、加热效率高且具备线圈冷却功能等优点，解决了现有感应加热部件的电磁屏蔽效果不佳而导致SiC外延设备的关键零部件受到强烈电磁干扰的问题。

主权项：1.一种具有电磁屏蔽功能的电磁感应加热装置，其特征在于，包括：石英管1、屏蔽板2、感应线圈4、石墨组件5和冷却组件；所述石墨组件5设置在石英管1内侧，所述感应线圈4缠绕在石英管1外侧，且感应线圈4的两端均设有屏蔽板2，所述冷却组件分别与屏蔽板2和感应线圈4连接，所述冷却组件用于实现屏蔽板2和感应线圈4冷却；当感应线圈4与高频感应加热电源连通时，感应线圈4中产生感应电流，以实现石墨组件5加热，且石墨组件5未吸收的感应电流被屏蔽板2屏蔽，实现电磁感应加热装置与SiC外延设备进行电磁屏蔽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种具有电磁屏蔽功能的电磁感应加热装置

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