申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司

申请日：2020-03-17

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111304637B

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;C23C16/54;C23C16/46;C23C16/458

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：本发明提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热，以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。使镀膜生产设备可以在单次抽真空‑回填大气循环中同时加热多个工件，以大幅度提升加工效率。进而实现优化镀膜生产设备结构，提升镀膜生产设备生产效率，降低产品生产成本的技术效果。

主权项：1.一种镀膜生产设备，其特征在于，包括：进载腔，所述进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，所述加热组件的进料端与所述进载腔相连接，所述加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与所述加热组件的出料端相连接，所述出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与所述进载腔，所述加热组件和所述出载腔相连接；其中，所述传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个所述真空加热装置中加热，以及将完成加热的所述至少两个工件由所述真空加热装置传送至所述出载腔；至少两个所述真空加热装置串接；所述传送组件包括：传送轮组，所述传送轮组包括：多个传送轮，多个所述传送轮分别设置于所述进载腔，所述出载腔和所述真空加热装置中；载板，设置于所述传送轮组上，所述传送轮转动以带动所述载板在所述传送轮组上行进，所述载板被配置为适于承载所述工件；所述传送轮组的数量与所述真空加热装置的数量相同，不同的所述传动轮组位于不同的平面上；所述载板的数量与所述真空加热装置的数量相同，每个所述传送轮组上均设置有一个所述载板。

全文数据：

权利要求：

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