申请/专利权人：北京超材信息科技有限公司

申请日：2021-05-27

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN113346867B

主分类号：H03H9/64

分类号：H03H9/64;H03H9/02;H03H9/145

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.09.21#实质审查的生效;2021.09.03#公开

摘要：本发明提出了一种声表面波装置，包括：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上，所述IDT电极包括：第一缓冲层，设置在所述压电基板上，所述第一缓冲层包括金属钛，在将所述IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述第一缓冲层的厚度为0.5％λ以下；第一金属层，设置在所述第一缓冲层远离所述压电基板的表面上，所述第一金属层包括铝,所述第一金属层的厚度范围在1％λ‑30％λ之间。根据本发明的声表面波装置，能够提高Al的抗电迁移性能，声表面波装置的耐受功率得以提高，并且耐久性得到兼顾，并且能够降低声表面波装置的频率温度系数，提高声表面波装置的温度稳定性。

主权项：1.一种声表面波装置，包括：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上，所述IDT电极包括：第一缓冲层，设置在所述压电基板上，所述第一缓冲层包括金属钛，在将所述IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述第一缓冲层的厚度为2nm以下；第一金属层，设置在所述第一缓冲层远离所述压电基板的表面上，所述第一金属层包括铝,所述第一金属层的厚度范围在1％λ-30％λ之间；第二缓冲层，设置在所述第一金属层远离所述压电基板的表面上，所述第二缓冲层包括选自Ti、W、Mo、Mg中的一种或一种以上的金属，所述第二缓冲层的厚度为2％λ以下；第二金属层，设置在所述第二缓冲层远离所述压电基板的表面上，所述第二金属层与所述第一金属层的成分相同；所述IDT电极的厚度在100-500nm之间，所述第一金属层的厚度为所述IDT电极厚度10％-50％，所述第二金属层的厚度为所述IDT电极厚度10％-50％，第一缓冲层的厚度为所述IDT电极厚度0.2％-1％，第二缓冲层的厚度为所述IDT电极厚度0.4％-2％；钝化层，设置在所述IDT电极上，所述钝化层包括二氧化硅，所述钝化层的厚度由以下公式确定：Hp＝T1*Hb1+T2*Hb2+T3*Hm1+T4*Hm2+T5*Hs其中，Hp为钝化层的厚度，Hb1为第一缓冲层的厚度；T1为第一缓冲层的温度补偿系数，Hb2为第二缓冲层的厚度；T2为第二缓冲层的温度补偿系数，Hm1为第一金属层的厚度；T3为第一金属层的温度补偿系数，Hm2为第二金属层的厚度；T4为第二金属层的温度补偿系数，Hs为压电基板的厚度，T5为压电基板的温度补偿系数；第一缓冲层的温度补偿系数T1在1-2之间，第二缓冲层的温度补偿系数T2在1-2之间，第一金属层的温度补偿系数T3在0.4-0.6之间，第二金属层的温度补偿系数T4在0.4-0.6之间，压电基板的温度补偿系数T5在0.2-0.4之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京超材信息科技有限公司 声表面波装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD