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【发明授权】脉冲压缩的琥珀金光栅及其制备方法_中国科学院上海光学精密机械研究所_202211198640.9 

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日:2022-09-29

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN115437053B

主分类号:G02B5/18

分类号:G02B5/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权;2022.12.23#实质审查的生效;2022.12.06#公开

摘要:一种脉冲压缩琥珀金光栅及其制备方法,所述的琥珀金光栅金属层选用合适配比的金基含银、铂系元素的二元或多元混合物,或者金顶银底薄膜。所述的制备工艺包括琥珀金光栅特征轮廓参数和琥珀金膜材料配比优选。本发明的琥珀金光栅在不退化传统金光栅光学性能的前提下,拓宽光栅高衍射效率波段,改善或解决纯银光栅的易氧化问题,进一步提升金光栅抗激光损伤阈值,工艺参数可以支持米级口径的光栅制备。本发明的光栅及相关工艺参数可支撑从光谱仪、商用超快激光器到大型高峰值功率激光器的建设,对脉冲压缩光栅发展有重大意义。

主权项:1.一种脉冲压缩琥珀金光栅,其特征在于,该光栅金属层为金顶一元或多元混合物金属膜,或者,为金基含除金外其他金属的二元混合物膜或多元混合物膜;所述光栅纵向轮廓深度,在光栅脊顶部到底部S形过度、或顶端平坦的情况下,满足公式如下: 在光栅脊底部突然截断、侧壁外凸、或顶端尖锐的情况下,满足公式如下: 式中,x为横向光栅轮廓长度,H为最大槽深,d为光栅周期,f为光栅占宽比,σ为光栅轮廓的形状因子。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院上海光学精密机械研究所 脉冲压缩的琥珀金光栅及其制备方法

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