申请/专利权人：杭州邦齐州科技有限公司

申请日：2022-12-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN115976495B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C16/455;C23C16/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.05.05#实质审查的生效;2023.04.18#公开

摘要：本发明公开了一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，包括下底板、上盖板和托盘，下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且防光晕输入玻璃窗的顶部与微纳光栅基片均卡接于通孔内，下底板与上盖板可拆卸连接，托盘上设置有容纳槽，容纳槽的小孔卡接下底板和上盖板，托盘可拆卸层叠设置有若干层。本发明的镀膜过程中，只需要对露出上盖板的微纳光栅基片结构面进行镀膜，其他区域不需要镀膜，上盖板可覆盖保护非镀膜区域，防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积；托盘可拆卸层叠设有若干层，可提高有限空间的利用率。

主权项：1.一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：包括下底板、上盖板和托盘，所述下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，所述上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且所述防光晕输入玻璃窗的顶部与所述微纳光栅基片均卡接于所述通孔内，所述下底板与所述上盖板可拆卸连接，所述托盘上设置有容纳槽，所述容纳槽的小孔卡接所述下底板和所述上盖板，所述托盘可拆卸层叠设置有若干层；所述下底板与所述上盖板之间设置有密封圈，所述密封圈位于各个所述通孔的外围；所述防光晕输入玻璃窗的顶部外围设置有台阶，所述台阶与所述上盖板之间设置有密封圈；或者，所述防光晕输入玻璃窗为上小下大的锥面，所述通孔的形状和尺寸与所述锥面相匹配；所述防光晕输入玻璃窗的底部边缘与所述下底板之间设置有密封圈；微纳光栅基片的待镀膜面与上盖板的外表面齐平；防光晕输入玻璃窗在所述密封圈的支撑下悬置于所述凹槽内，且仅所述防光晕输入玻璃窗的底部位于所述凹槽内，所述上盖板与所述下底板的外部轮廓相同且边缘通过螺栓连接；所述上盖板与所述下底板的材料包括铝合金和聚酰亚胺。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州邦齐州科技有限公司 一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD