申请/专利权人：无锡中环应用材料有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117160984B

主分类号：B08B3/10

分类号：B08B3/10;B08B1/20;B08B1/12;B08B1/30;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开

摘要：本发明公开了一种单晶硅片水洗脱胶系统及其脱胶工艺，包括用于驱动的基础驱动机构，基础驱动机构包括稳定底板，稳定底板的顶部固定连接有清洗台，通过在基础驱动机构的内侧设置有两个清洗安装机构，同时在电动伸缩杆与齿轮筒的配合下，能够让两个清洗安装机构交错运行，一个能够对硅片进行清洗另一个方便工作人员更换；通过在支撑联动壁内腔的顶部安装有与第二弧形块相配合使用的第一弧形块，这些结构的设置能够通过承重连接板的上升，使第一弧形块与第二弧形块相抵，利用第二弧形块推动弧形摩擦环与旋转杆接触增加摩擦力将旋转杆停止固定，使工作人员在硅片拿取以及安装时能够更加稳定。

主权项：1.一种单晶硅片水洗脱胶系统，包括用于驱动的基础驱动机构1，其特征在于：所述基础驱动机构1内部的两侧均设置有用于脱胶的清洗安装机构2，且清洗安装机构2设置有两个；所述基础驱动机构1包括稳定底板101，所述稳定底板101的顶部固定连接有清洗台102，所述清洗台102的后侧固定连接有支撑联动壁103，所述支撑联动壁103表面的两侧均固定连接有滑槽板104，所述清洗台102顶部的两侧均开设有与清洗安装机构2相配合使用的清洗池105，两个所述清洗安装机构2分别设置于清洗池105的内侧；所述清洗安装机构2包括滑块座201，且滑块座201滑动安装于滑槽板104的内侧，所述滑块座201的表面固定连接有承重连接板202，所述承重连接板202的前端固定连接有滑动环203，所述滑动环203的内侧设置有滑动筒204，所述滑动筒204的内侧转动连接有旋转杆205，所述旋转杆205表面的下部固定连接有多角套杆206，所述多角套杆206的表面滑动安装有多角旋转柱207，所述多角旋转柱207的表面开设有旋转限位槽208，且旋转限位槽208呈环形设置有若干个，所述旋转杆205的底部通过轴承件转动连接有内齿牙环形框209；所述旋转杆205的表面固定连接有与内齿牙环形框209相配合使用的封挡板210，且封挡板210的数量与旋转限位槽208相同，所述多角旋转柱207的表面且位于相邻两个旋转限位槽208之间固定连接有固定插接框211，且固定插接框211设置有若干个，所述旋转杆205的表面且位于内齿牙环形框209和多角套杆206之间固定连接有多面抬升板212，所述多面抬升板212和多角旋转柱207之间固定连接有第一弹簧220，所述多面抬升板212的表面固定连接有与固定插接框211相配合使用的承托底插板213；所述旋转限位槽208内腔的顶部通过轴承件转动连接有往复螺纹杆214，且往复螺纹杆214的底端贯穿封挡板210并延伸至内齿牙环形框209的内侧，所述往复螺纹杆214的表面且位于旋转限位槽208的内侧螺纹连接有限位螺纹套215，所述限位螺纹套215表面的两侧均固定连接有与固定插接框211相配合使用的刮擦毛刷板216，所述内齿牙环形框209的底部呈环形开设有与往复螺纹杆214相配合使用的贯通圆口217，所述往复螺纹杆214的表面且位于内齿牙环形框209的内侧滑动安装有与内齿牙环形框209相啮合的内限位齿轮环219，所述内齿牙环形框209的底部固定连接有多角定位块218；两个所述承重连接板202相对的一侧均通过支架固定连接有齿牙板221，所述承重连接板202的顶部开设有贯穿至底部的限位推动槽222，所述限位推动槽222的内侧滑动安装有第二弧形块223，所述第二弧形块223与限位推动槽222内腔的前部之间固定连接有第二弹簧224，所述第二弧形块223的底部通过支架固定连接有与旋转杆205相配合使用的弧形摩擦环225，所述旋转杆205的顶端固定连接有多角锥形插杆226；所述支撑联动壁103的顶部通过支架固定连接有电机106，所述电机106的输出轴通过联轴器固定连接有转动杆107，所述转动杆107的底端贯穿支撑联动壁103并延伸至支撑联动壁103的内侧，所述转动杆107表面的上部与下部且位于支撑联动壁103的内侧均固定连接有第二皮带轮109，所述支撑联动壁103内腔顶部的两侧均通过轴承架转动连接有第一皮带轮108，所述第二皮带轮109与第一皮带轮108之间通过皮带110传动连接，所述支撑联动壁103内腔顶部的两侧均通过支架固定连接有与第二弧形块223相配合使用的第一弧形块111，所述支撑联动壁103内腔的后部通过轴承件转动连接有与齿牙板221相配合使用的齿轮筒112；所述支撑联动壁103顶部的两侧均开设有与多角锥形插杆226相配合使用的圆形升降口113，所述支撑联动壁103顶部的后侧开设有与齿牙板221相配合使用的矩形升降口114，所述支撑联动壁103的后部开设有限位移动槽115，所述支撑联动壁103内腔顶部的两侧均通过支架固定连接有与多角旋转柱207相配合使用的下抵杆116，所述支撑联动壁103的后部固定安装有电动伸缩杆117，且电动伸缩杆117的顶端通过固定板与右侧齿牙板221固定连接，所述清洗池105内腔的底部通过开设开口固定连接有与多角定位块218相配合使用的多角插槽座118。

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