申请/专利权人：恩特格里斯公司

申请日：2018-11-14

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111492458B

主分类号：H01J37/317

分类号：H01J37/317;H01J37/08;H01J3/04;H01L21/265

优先权：["20171215 US 62/599,098"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.08.04#公开

摘要：本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。

主权项：1.一种用于将气体递送至等离子体浸没枪PFG的气体供应组件，其包含：流体供应包装，其被配置成将惰性气体递送至PFG以产生惰性气体等离子体，所述惰性气体等离子体包括用于在离子植入操作中调节衬底的表面电荷的电子；和含氟气体，其与所述惰性气体混合，或位于单独气体供应包装中，所述包装被配置成相对于惰性气体的递送同时或依序将所述含氟气体递送至所述PFG，其中所述含氟气体是含钨气体，和其中所述组件被配置成递送体积在所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的0.75至4％范围内的所述含氟气体，其中所述PFG包含细丝，在操作所述PFG的时段期间，在引入所述含氟气体和引入所述惰性气体的同时，电流流过所述细丝，且所述细丝的重量损失小于在相同时段和操作条件下但不引入所述含氟气体时细丝的重量损失。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 恩特格里斯公司 供等离子体浸没枪(PFG)操作的使用含氟和惰性气体的方法和组件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD