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【发明授权】部件承载件及其制造方法_奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司_202010790009.2 

申请/专利权人:奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司

申请日:2020-08-07

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN112349678B

主分类号:H01L23/498

分类号:H01L23/498;H01L23/50;H01L23/13;H01L23/14;H01L21/48;H05K1/02

优先权:["20190808 US 16/535,474"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权;2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要:本发明涉及部件承载件和制造部件承载件的方法。该部件承载件包括:叠置件,所述叠置件包括多个电传导层结构和多个电绝缘层结构;以及同轴结构,所述同轴结构包括基本水平延伸的电传导的中央迹线和至少部分地围绕所述中央迹线的电传导的围绕结构,在中央迹线与围绕结构之间具有电绝缘材料。同轴结构由叠置件的层结构的材料形成。

主权项:1.一种部件承载件1,包括:叠置件,所述叠置件包括多个电传导层结构和多个电绝缘层结构31;同轴结构,所述同轴结构包括水平延伸的电传导的中央迹线3以及至少部分地围绕所述中央迹线3的电传导的围绕结构4,在所述中央迹线3与所述围绕结构4之间具有电绝缘材料5;其中,所述同轴结构由所述叠置件的层结构的材料形成;电传导的所述围绕结构4的竖向部分34、35是通过在所述叠置件中的所述多个电绝缘层结构31中的一个电绝缘层结构中的竖向沟槽33形成的,其中,所述竖向沟槽33是用电传导材料填充的;以及电传导的所述围绕结构4的水平部分21是通过位于所述多个电绝缘层结构31中的所述一个电绝缘层结构的上方以及下方的电传导层形成的;其中,所述中央迹线3未被电连接至所述竖向部分34、35和所述水平部分21。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 部件承载件及其制造方法

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