申请/专利权人：明立精机株式会社

申请日：2020-12-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112984044B

主分类号：F16F15/08

分类号：F16F15/08;F16F15/023;F16F15/04;F16F15/06

优先权：["20191213 JP 2019-225510"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2021.06.18#公开

摘要：本发明提供一种位移抑制机构以及除振装置，利用使金属与弹性体的薄板交替层叠而成的层叠橡胶，由此以简单的构造实现低成本化。设置于除振装置的位移抑制机构10并列地设置于除振装置，上述除振装置相对于放置在设置基准面上的基座30，支承能够搭载设备的工作台40，对于位移抑制机构而言，作为构成部件，包含以层叠方向成为水平方向的方式被安装的层叠橡胶15。层叠橡胶15的一端侧相对于工作台40经由安装部件16被固定，层叠橡胶15的另一端侧隔着规定的间隙与固定于基座30的间隙调整机构13的球面状的前端对置。

主权项：1.一种精密设备搭载用除振装置，其具备：放置在设置基准面上的基座、设置在该基座上的多个除振单元、被该除振单元水平弹性支承且能够搭载精密设备的工作台、以及在所述基座和工作台之间与所述除振单元并列设置的工作台位移抑制机构，所述精密设备搭载用除振装置的特征在于，所述工作台位移抑制机构作为构成部件而包含以使金属与弹性体的薄板交替层叠的层叠方向成为水平方向的方式被安装的层叠橡胶，所述层叠橡胶的一端侧相对于所述工作台或所述基座的一方经由安装部件被固定，所述层叠橡胶的另一端侧隔着规定的间隙与相对于所述工作台或所述基座的另一方经由支承部件被固定的间隙调整机构的球面状的前端部对置，所述间隙调整机构由与所述支承部件螺合的螺栓部件、和将该螺栓部件拧紧于所述支承部件的螺母构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 明立精机株式会社 精密设备搭载用除振装置

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