申请/专利权人：杭州富芯半导体有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767244U

主分类号：C30B25/14

分类号：C30B25/14;C30B25/08;C30B25/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请提供了一种气体供应装置及外延设备，气体供应装置包括：第一供气单元；第二供气单元；气量控制单元，与第一供气单元和第二供气单元连通，用于在第一供气单元剩余气量小于一阈值时，逐渐减小第一供气单元的第一供气量，同时开启并逐渐增加第二供气单元的第二供气量。本申请可以使新旧气瓶气体供应可平稳缓和的过渡，对工艺影响在可控范围，只需在气体供应过渡过程中，根据工艺结果对工艺逐步调节即可保证工艺质量，不需要停机更换和重新检测的过程，可大大提高机台效率。

主权项：1.一种气体供应装置，其特征在于，所述气体供应装置包括：第一供气单元；第二供气单元；气量控制单元，与所述第一供气单元和第二供气单元连通，用于在所述第一供气单元剩余气量小于一阈值时，逐渐减小所述第一供气单元的第一供气量，同时开启并逐渐增加所述第二供气单元的第二供气量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州富芯半导体有限公司 气体供应装置及外延设备

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