申请/专利权人：萍乡市海目芯微电子装备科技有限公司

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220773418U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提出一种掩模板调整装置及曝光机，掩模板调整装置包括掩模板、载台、固定组件、升降组件及多个球头，载台设置在掩模板底部；多个球头设置在载台的顶部，且多个球头对应分布在掩模板的底部四周；升降组件设置在载台底部，升降组件上升时与载台抵接并带动载台同步上升；直至载台与多个球头抵接，并推动多个球头与掩模板抵接；固定组件可升降设置在载台底部，固定组件用于待多个球头与掩模板抵接后上升，并与载台连接并固定。本实用新型技术方案减少载台与掩模板之间的接触点，提高调整的精度。在调整找平后，通过固定组件对载台进行固定，保证载台的定位精度，防止在找平后发生偏移从而对掩模板造成影响，提高稳定性。

主权项：1.一种掩模板调整装置，其特征在于，所述掩模板调整装置包括：掩模板；载台，所述载台设置在所述掩模板底部；多个球头，多个所述球头设置在所述载台的顶部，且多个所述球头对应分布在所述掩模板的底部四周；升降组件，所述升降组件设置在所述载台底部，所述升降组件上升时与所述载台抵接并带动所述载台同步上升；直至所述载台与多个所述球头抵接，并推动多个所述球头与所述掩模板抵接；固定组件，所述固定组件可升降设置在所述载台底部，所述固定组件用于待多个所述球头与所述掩模板抵接后上升，并与所述载台连接并固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 萍乡市海目芯微电子装备科技有限公司 掩模板调整装置及曝光机

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