申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-09-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220760279U

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B13/00;B05B15/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种酸槽机台的喷淋装置及酸槽机台，包括：第一喷淋组件、角度驱动件以及供给组件，第一喷淋组件呈水平设置且位于水槽上方，第一喷淋组件用于向水槽内的晶圆喷射清洗液。角度驱动件安装于腔体上，角度驱动件与第一喷淋组件驱动连接且用于驱动第一喷淋组件旋转。供给组件与第一喷淋组件连接且用于向第一喷淋组件供给清洗液。本实用新型利用角度驱动件驱动第一喷淋组件旋转，实现了对第一喷淋组件自动化的旋转控制。在清洗过程中，可以根据清洗需求，旋转第一喷淋组件，以调整喷淋角度，实现多角度地冲洗晶圆表面，无需宕机，在保障清洗效果的同时，提高了晶圆清洗效率。

主权项：1.一种酸槽机台的喷淋装置，其特征在于，所述酸槽机台内设有一内部中空的腔体，所述腔体内设有水槽，所述水槽内部中空且顶部为敞口，所述喷淋装置包括：第一喷淋组件、角度驱动件以及供给组件；所述第一喷淋组件呈水平设置且位于所述水槽上方，所述第一喷淋组件用于向所述水槽内的晶圆喷射清洗液；所述角度驱动件安装于所述腔体上，所述角度驱动件与所述第一喷淋组件驱动连接且用于驱动所述第一喷淋组件旋转；所述供给组件与所述第一喷淋组件连接且用于向所述第一喷淋组件供给清洗液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 酸槽机台的喷淋装置及酸槽机台

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