申请/专利权人:拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
申请日:2024-03-15
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220774398U
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L21/67
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本申请属于太阳能电池片制造技术领域,涉及一种温度调节装置及光注入退火设备,该温度调节装置包括承载板、光源组件、加热组件以及冷却组件,承载板被配置为承载目标物;光源组件设置于承载板朝向目标物的一侧;加热组件安装于承载板背离目标物的一侧;冷却组件安装于加热组件背离承载板的一侧;其中,光源组件和加热组件用于在目标物所处的环境温度低于工艺温度时共同对目标物进行加热;冷却组件用于在目标物所处环境温度高于工艺温度时对目标物进行冷却。本申请的温度调节装置通过光源组件、加热组件和冷却组件的协同作用,能够实现对光注入退火设备中目标物温度的控制调节,提高工作效率。
主权项:1.一种温度调节装置,其特征在于,包括:承载板,所述承载板被配置为承载目标物;光源组件,所述光源组件设置于所述承载板朝向所述目标物的一侧;加热组件,所述加热组件安装于所述承载板背离所述目标物的一侧;冷却组件,所述冷却组件安装于所述加热组件背离所述承载板的一侧;其中,所述光源组件和所述加热组件用于在所述目标物所处环境的温度低于工艺温度时共同对所述目标物进行加热;所述冷却组件用于在所述目标物所处环境的温度高于工艺温度时对所述目标物进行冷却。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 温度调节装置及光注入退火设备
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