申请/专利权人：美光科技公司

申请日：2020-10-13

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN112750837B

主分类号：H10B41/35

分类号：H10B41/35;H10B41/20;H10B43/35;H10B43/20

优先权：["20191029 US 16/667,704"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.05.04#公开

摘要：本申请案涉及包含阶梯结构的微电子装置以及相关存储器装置和电子系统。微电子装置包括堆叠结构、至少一个阶梯结构、接触结构和支撑结构。所述堆叠结构包括布置于层次中的竖直交替的导电结构和绝缘结构，所述层次中的每一个分别包括所述导电结构中的一个和所述绝缘结构中的一个。所述至少一个阶梯结构处于所述堆叠结构内并且具有包括所述层次中的至少一些的边缘的台阶。所述接触结构处于所述至少一个阶梯结构的所述台阶上。所述支撑结构沿第一水平方向与所述接触结构水平交替并且竖直延伸穿过所述堆叠结构。所述支撑结构具有长椭圆形水平横截面形状。还描述额外微电子装置、存储器装置和电子系统。

主权项：1.一种微电子装置，其包括：堆叠结构，其包括布置于层次中的竖直交替的导电结构和绝缘结构，所述层次中的每一个分别包括所述导电结构中的一个和所述绝缘结构中的一个；至少一个阶梯结构，其处于所述堆叠结构内并且具有包括所述层次中的至少一些的边缘的台阶；接触结构，其处于所述至少一个阶梯结构的所述台阶上；和支撑结构，其沿第一水平方向与所述接触结构水平交替并且竖直延伸穿过所述堆叠结构，所述支撑结构具有长椭圆形水平横截面形状并且具有与所述阶梯结构的沿所述第一水平方向延伸的水平中心线大体上对准的水平中心。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 美光科技公司 包含阶梯结构的微电子装置以及相关存储器装置和电子系统

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