申请/专利权人：天津大学

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888073A

主分类号：C23C16/02

分类号：C23C16/02;C23C16/455;C23G1/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开一种卫星太阳翼铰链中展开及锁定机构关键部件表面膜层的制备方法，包括：将待镀膜件放入溶液进行超声清洗；将超声清洗后的待镀膜件吹干后放入等离子体刻蚀机进行刻蚀清洗；将刻蚀清洗处理后的待镀膜件转移到紫外箱中进行表面紫外辐照；将紫外辐照后的待镀膜件移到原子层沉积设备中进行原子导沉积镀膜。采用本发明的方法制备的铰链表面镀膜层一致性好，附着力佳，可以有效提升卫星太阳翼展开过程的可靠性。

主权项：1.卫星太阳翼铰链中展开及锁定机构关键部件表面膜层的制备方法，其特征在于，包括步骤：S1.将待镀膜件放入溶液进行超声清洗；S2.将超声清洗后的待镀膜件吹干后放入等离子体刻蚀机进行刻蚀清洗；S3.将刻蚀处理后的待镀膜件转移到紫外箱中进行表面紫外辐照；S4.将紫外辐照后的待镀膜件移到原子层沉积设备中进行原子层沉积镀膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津大学 卫星太阳翼铰链中展开及锁定机构关键部件表面膜层的制备方法

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