申请/专利权人：日本碍子株式会社

申请日：2022-04-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117897797A

主分类号：H01L21/02

分类号：H01L21/02

优先权：["20210922 JP 2021-153852"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：在支撑基板与13族元素氮化物结晶基板的贴合基板中，使支撑基板与13族元素氮化物结晶基板之间的接合强度提高。提供一种支撑基板1与13族元素氮化物结晶基板2的贴合基板3。13族元素氮化物结晶基板2以1×1017atoms·cm－3以上且1×1021atoms·cm－3以上以下的浓度含有选自由锌、铁、锰、镍以及铬构成的组中的一种以上的过渡金属元素。

主权项：1.一种贴合基板，其是支撑基板与13族元素氮化物结晶基板的贴合基板，其特征在于，所述13族元素氮化物结晶基板以1×1017atoms·cm－3以上且1×1021atoms·cm－3以下的浓度含有选自由锌、铁、锰、镍以及铬构成的组中的一种以上的过渡金属元素。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本碍子株式会社 支撑基板与13族元素氮化物结晶基板的贴合基板

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