申请/专利权人：苏州微飞半导体有限公司

申请日：2024-03-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890770A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明提供一种多臂错位式探针及测试装置，多臂错位式探针包括上装配端、形变部和下装配端，上装配端与下装配端同线设置，形变部包括：第一形变部、第二形变部以及错位缓冲部，第一形变部一端与上装配端连接；第二形变部一端与下装配端连接；错位缓冲部连接在第一形变部与第二形变部之间；其中，第一形变部具有受上装配端作用力而产生形变且绕其自身中心沿第一方向旋转的趋势；第二形变部具有受下装配端作用而产生形变且绕其自身中心沿第一方向旋转的趋势；错位缓冲部被配置为受第一形变部、第二形变部作用而绕其自身中心沿第二方向旋转的趋势，以抵消第一形变部、第二形变部沿第一方向旋转的趋势，从而抵消了上下装配端的偏移。

主权项：1.一种多臂错位式探针，包括上装配端（1）、形变部和下装配端（3），所述上装配端（1）、所述下装配端（3）分设于所述形变部相对两端，所述上装配端（1）适于与待测芯片电连接，所述下装配端（3）适于与PCB板电连接；其特征在于：所述上装配端（1）与所述下装配端（3）同线设置，所述形变部包括：第一形变部（21），一端与所述上装配端（1）连接；第二形变部（22），一端与所述下装配端（3）连接；错位缓冲部（23），连接在所述第一形变部（21）与所述第二形变部（22）之间；其中，所述第一形变部（21）具有受所述上装配端（1）作用力而产生形变且绕其自身中心沿第一方向旋转的趋势；所述第二形变部（22）具有受所述下装配端（3）作用而产生形变且绕其自身中心沿第一方向旋转的趋势；所述错位缓冲部（23）被配置为受所述第一形变部（21）、所述第二形变部（22）作用而绕其自身中心沿第二方向旋转的趋势，以抵消所述第一形变部（21）、所述第二形变部（22）沿第一方向旋转的趋势，以使所述上装配端（1）、所述下装配端（3）受力沿两者中心连线运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州微飞半导体有限公司 一种多臂错位式探针及测试装置

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