申请/专利权人:合肥东昇智能装备股份有限公司
申请日:2024-01-18
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN117888058A
主分类号:C23C14/04
分类号:C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.16#公开
摘要:本发明公开了一种安全膜系统精确蒸发油管,属于镀膜领域,包括用于蒸发屏蔽油的蒸发油管、用于冷凝吸附屏蔽油蒸汽分子的陶瓷辊和用于放置安全膜的套辊,蒸发油管设置于真空腔室内,蒸发油管内设置有加热块,陶瓷辊转动设置于蒸发油管的上方,陶瓷辊设置于真空腔室内,套辊设置于陶瓷辊侧旁,套辊与陶瓷辊相贴合,套辊设置于真空腔室内,真空腔室外设置有油箱,油箱上设置有油泵,真空腔室侧面上开设有穿孔,油箱上设置有连接管,连接管穿过穿孔,连接管插设于蒸发油管内,连接管位于加热块的上方,连接管与穿孔之间设置有密封件。本申请具有便于提供定量、匀压的油蒸汽,从而提高安全膜的质量的效果。
主权项:1.安全膜系统精确蒸发油管,包括用于蒸发屏蔽油的蒸发油管2、用于冷凝吸附屏蔽油蒸汽分子的陶瓷辊3和用于放置安全膜的套辊4,其特征在于:所述蒸发油管2设置于真空腔室1内,所述蒸发油管2内设置有加热块22,所述陶瓷辊3转动设置于所述蒸发油管2的上方,所述陶瓷辊3设置于所述真空腔室1内,所述套辊4设置于所述陶瓷辊3侧旁,所述套辊4与所述陶瓷辊3相贴合,所述套辊4设置于所述真空腔室1内,所述真空腔室1外设置有油箱9,所述油箱9上设置有油泵91,所述真空腔室1侧面上开设有穿孔18,所述油箱9上设置有连接管92,所述连接管92穿过所述穿孔18,所述连接管92插设于所述蒸发油管2内,所述连接管92位于所述加热块22的上方,所述连接管92与所述穿孔18之间设置有密封件。
全文数据:
权利要求:
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