申请/专利权人：华东理工大学

申请日：2024-02-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888085A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/50;C23C16/40

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种海洋防腐膜层的制备方法。本发明所述制备方法包括：1对基板进行超声清洗、烘干后，再放置于等离子体增强原子层沉积镀膜设备的反应室中，调整反应室温度，经氩气吹扫反应室后，使用氧等离子体轰击样品表面，得到待镀膜的样品；2打开四乙基甲基氨基铪管道，设置四乙基甲基氨基铪管道流量、时间，使四乙基甲基氨基铪在步骤1得到的样品表面发生反应，使用氩气吹扫反应室；3之后打开臭氧管道，设置臭氧管道流量、时间，使臭氧继续与样品表面发生反应，使用氩气吹扫反应室；4循环步骤2和步骤3，得到镀有海洋防腐膜层的金属基板。本发明所制备的膜层具有抵御海洋腐蚀的性能。

主权项：1.一种海洋防腐膜层的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：1对基板进行超声清洗、烘干后，再放置于等离子体增强原子层沉积镀膜设备的反应室中，调整反应室温度，经氩气吹扫反应室后，使用氧等离子体轰击样品表面，得到待镀膜的样品；2打开四乙基甲基氨基铪管道，设置四乙基甲基氨基铪管道流量、时间，使四乙基甲基氨基铪在步骤1得到的样品表面发生反应，使用氩气吹扫反应室；3之后打开臭氧管道，设置臭氧管道流量、时间，使臭氧继续与样品表面发生反应，使用氩气吹扫反应室；4循环步骤2和步骤3，得到镀有海洋防腐膜层的金属基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华东理工大学 一种海洋防腐膜层的制备方法

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