申请/专利权人：恩智浦有限公司

申请日：2020-02-17

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN111596111B

主分类号：G01R15/12

分类号：G01R15/12;G01R31/26;G01R31/28

优先权：["20190219 US 16/279,304"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.03.04#实质审查的生效;2020.08.28#公开

摘要：一种半导体电路块或集成电路块包括感测节点和转换器电路，其中所述感测节点产生低频电参数，所述低频电参数是恒定的或以低于预定频率水平的频率变化，并且其中所述转换器电路将所述低频电参数转换成交流电参数，所述交流电参数的频率处于或高于足以调制聚焦在所述转换器电路的激光探针区域内的激光束的所述预定频率水平。转换器可以包括环形振荡器、由时钟使能信号控制的开关电路、具有基于所述低频电参数的电荷率的电容器等。所述激光探针区域具有基于所述低频电参数的水平的用于调制反射激光束的频率水平，以通过激光电压探针测试系统对所述电参数进行测量。

主权项：1.一种用于激光电压探针测试系统的集成电路块，其特征在于，包括：感测节点，当所述集成电路块被供电时，所述感测节点产生低频电参数，其中所述低频电参数是恒定的或以低于预定的10kHz的频率水平的频率变化；以及转换器电路，所述转换器电路耦合到所述感测节点并包括激光探针区域，其中所述转换器电路将所述低频电参数转换成交流电参数，所述交流电参数的频率处于或高于10kHz，其中所述激光探针区域配置为由所述交流电参数供能，以产生电场，所述电场调制聚焦在所述激光探针区域内的点上的入射激光束的反射激光束，以供所述激光电压探针测试系统检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 恩智浦有限公司 用于测量DC或低频AC电参数的集成激光电压探针焊盘

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