申请/专利权人：西安交通大学

申请日：2020-09-17

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112233991B

主分类号：H01L21/60

分类号：H01L21/60;H01L23/488;H01L21/67;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.02.02#实质审查的生效;2021.01.15#公开

摘要：本发明公开了一种利用飞秒脉冲激光诱导银纳米线互连的方法，该方法先将含银纳米线浓度10mgmL的溶液用乙醇以1:15‑25的比例稀释，然后利用滴涂工艺将银纳米线溶液涂覆到二氧化硅基底表面，最后进行激光辐照诱导银纳米线实现互连。本发明无需精准定位，工艺简单，加工效率高，可大规模使用，得到的银纳米线互连结构的接头较光滑。

主权项：1.一种利用飞秒脉冲激光诱导银纳米线互连的方法，其特征在于，包括以下步骤：1将银纳米线溶液滴涂于二氧化硅基底表面，然后将滴涂后的二氧化硅基底移至加热台在50-60℃加热1-2min；银纳米线溶液的配置方法为：按照体积比为1:15-25，在Ag浓度为10mgmL的银纳米线溶液中加入溶剂混合，并搅拌均匀，其中溶剂为水，乙醇，或异丙醇；2搭建飞秒激光辐照系统：所搭建的飞秒激光辐照系统包括飞秒激光器、第一反射镜、12波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、光阑和聚焦平凸透镜，其用于将飞秒超短脉冲激光聚焦于移动载物台上，并实时对激光功率进行调节，搭建好光路后，将二氧化硅基底固定在移动载物台上；所搭建的飞秒激光辐照系统中，飞秒激光器的输出激光经过所述第一反射镜使光路转动90°，反射光依次经过所述12波片、所述分光棱镜、所述快门、所述第二反射镜、所述光阑、所述聚焦平凸透镜垂直照射在移动载物台的加工工位上，搭建好光路后，将二氧化硅基底固定在移动载物台上；3设置飞秒激光参数并诱导连接：采用飞秒激光辐照系统进行激光诱导，激光的具体参数为：脉冲宽度为1000fs、波长为800nm的飞秒激光，焦距为100mm的聚焦平凸透镜，70-100mW的激光能量辐照二氧化硅基底上的银纳米线10-30s，即得到互连的银纳米线结构；设置飞秒激光参数并诱导连接的具体步骤为：使用12波片将出口功率为4W的飞秒脉冲激光调节至70-100mW，并使用功率计进行检测；然后用焦距的100mm的聚焦平凸透镜将圆形光斑激光束进行聚焦，并将焦点调至诱导二氧化硅基底上方1-1.5cm处，采用焦后诱导连接；设置快门，使飞秒激光作用时间为10-30s，当到达辐照时间后，立即关闭光路，防止破坏诱导互连后的纳米线结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安交通大学 一种利用飞秒脉冲激光诱导银纳米线互连的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD