申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796665U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G02F1/13;H01J37/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型提供一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，包括有具有一个定位孔的陶瓷片，所述陶瓷片的另一侧设置有凹槽，凹槽设置在陶瓷片的背面，所述防滑结构还包括由聚四氟乙烯材质制成的封帽，所述封帽套设在固定螺丝的端部，所述固定螺丝与干蚀刻机上部电极板螺旋连接，用于固定上部电极板。本实用新型通过改变上部陶瓷片结构样式，在上部陶瓷片的背面加工凹槽，并搭配封帽，使陶瓷片固定在上部电极板上，不会发生滑动，可完全覆盖住螺丝，避免电极板固定螺丝裸露与制程气体发生反应，造成产品异常，改善后保养复机成功率也大大提升，提高了机台稼动率，机台产能提升。

主权项：1.一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，包括有具有一个定位孔的陶瓷片，其特征在于：所述陶瓷片的另一侧设置有凹槽，所述防滑结构还包括由聚四氟乙烯材质制成的封帽，所述封帽套设在与干蚀刻机上部电极板螺旋连接的固定螺丝的端部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构

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