申请/专利权人：宁波工程学院

申请日：2023-07-18

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220783930U

主分类号：B25J11/00

分类号：B25J11/00;B25J15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型提供一种晶圆末端夹持装置，包括外壳，外壳上设置有散热组件，外壳内设置有动力组件，动力组件上螺纹连接有伸缩杆，伸缩杆远离动力组件的一端固接有安装块，动力组件的底端转动连接有压力传感器，压力传感器与外壳的底端固接；外壳的外顶面固接有支撑杆，支撑杆远离外壳的一端固接有夹持组件，伸缩杆穿过夹持组件，动力组件、伸缩杆、压力传感器和散热组件分别电性连接有控制组件。本实用新型解决翘曲晶圆片在传统接触抓手末端执行器易夹碎的问题，减少晶圆片在搬运过程中的形变。

主权项：1.一种晶圆末端夹持装置，其特征在于：包括外壳1，所述外壳1上设置有散热组件，所述外壳1内设置有动力组件，所述动力组件上螺纹连接有伸缩杆2，所述伸缩杆2远离所述动力组件的一端固接有安装块3，所述动力组件的底端转动连接有压力传感器4，所述压力传感器4与所述外壳1的底端固接；所述外壳1的外顶面固接有支撑杆5，所述支撑杆5远离所述外壳1的一端固接有夹持组件，所述伸缩杆2穿过所述夹持组件，所述动力组件、所述伸缩杆2、所述压力传感器4和所述散热组件分别电性连接有控制组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波工程学院 一种晶圆末端夹持装置

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