申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220782607U

主分类号：B23K26/362

分类号：B23K26/362;B23K26/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种兼容性晶圆背面打标治具装置，包括支撑台底板、吸附治具载台和载台旋转装置，载台旋转装置安装在支撑台底板上，吸附治具载台安装在载台旋转装置上；在吸附治具载台的上方从下往上依次设置有顶升接料台和压料台，在顶升接料台上设置有用于对压料台升降处理的压料顶升装置。可根据产品尺寸选用不同的加工载台，快速更换，无需繁琐拆装；可兼容多款尺寸，多系列产品加工，方便切换设备加工换型；实现一次性校正载台与光路切割垂直后，无需后期重新校正垂直度等一系列问题，避免产品加工批量性不良。为应对翘曲产品的吸附功能，两个非接触式的吸盘将翘曲的产品吸附在治具安装底板上，压料环下压住产品的四周，将产品完全抚平。

主权项：1.一种兼容性晶圆背面打标治具装置，包括支撑台底板Ⅰ、吸附治具载台Ⅱ和载台旋转装置Ⅳ，所述载台旋转装置Ⅳ安装在支撑台底板Ⅰ上，所述吸附治具载台Ⅱ安装在载台旋转装置Ⅳ上；其特征在于：在所述吸附治具载台Ⅱ的上方从下往上依次设置有顶升接料台Ⅲ和压料台Ⅴ，在所述顶升接料台Ⅲ上设置有用于对压料台Ⅴ升降处理的压料顶升装置Ⅵ；所述吸附治具载台Ⅱ包括吸附板Ⅱ-1，在所述吸附板Ⅱ-1上开设有14打标区域Ⅱ-3，在所述吸附板Ⅱ-1上安装有至少一个吸盘Ⅱ-2；所述顶升接料台Ⅲ包括接料板固定大板Ⅲ-1、接料板Ⅲ-2和顶升接料动力电机Ⅲ-3，所述接料板固定大板Ⅲ-1上中间的空腔处安装有接料板Ⅲ-2，所述接料板固定大板Ⅲ-1的底部四周均通过顶升接料导杆Ⅲ-6可升降的安装在下方的支撑台底板Ⅰ上，所述顶升接料导杆Ⅲ-6的顶部通过顶升接料直线轴承Ⅲ-7安装在接料板固定大板Ⅲ-1的底部，在所述接料板固定大板Ⅲ-1沿着X轴方向两侧下方的支撑台底板Ⅰ上均安装有顶升接料动力电机Ⅲ-3，所述顶升接料动力电机Ⅲ-3可驱动顶升接料凸轮Ⅲ-4与上方的且安装在接料板固定大板Ⅲ-1上的大板端接触轴承Ⅲ-5相接触；所述压料台Ⅴ包括压料台底板Ⅴ-1和压料环Ⅴ-6，所述压料台底板Ⅴ-1底部的四周均通过升降导柱Ⅴ-4和导向轴承Ⅴ-5可升降的安装在下方的接料板固定大板Ⅲ-1上，所述压料台底板Ⅴ-1上中间的空腔处安装有压料环Ⅴ-6；所述压料顶升装置Ⅵ包括压料顶升动力电机Ⅵ-1、多级传动机构和从动顶升装置Ⅵ-8，安装在所述接料板固定大板Ⅲ-1上一侧的压料顶升动力电机Ⅵ-1可通过多级传动机构分别与位于压料台底板Ⅴ-1沿着X轴方向两侧的从动顶升装置Ⅵ-8相连接；所述从动顶升装置Ⅵ-8包括从动顶升轴承座Ⅵ-8-1、传动轴承固定座Ⅵ-8-2、传动轴承Ⅵ-8-3和安装角座Ⅵ-8-4，所述从动顶升轴承座Ⅵ-8-1通过安装角座Ⅵ-8-4安装在接料板固定大板Ⅲ-1上，所述从动顶升轴承座Ⅵ-8-1与多级传动机构相连接，所述传动轴承固定座Ⅵ-8-2为凸轮结构且安装在从动顶升轴承座Ⅵ-8-1上，所述传动轴承固定座Ⅵ-8-2的内侧顶部或底部一侧安装有传动轴承Ⅵ-8-3，所述传动轴承Ⅵ-8-3可与内侧的压料台底板Ⅴ-1底部一侧的顶升隔板Ⅴ-2相接触。

全文数据：

权利要求：

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